基本信息
| 标准名称： | 超高真空蒸发设备参数系列 |
| 英文名称： | Ultrahigh vacuum coating equipment parameters series |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子工业生产设备 >> 其他生产设备 |
| 替代情况： | 被SJ/T 11131-97代替 |
| 发布日期： | |
| 实施日期： | 1977-01-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 出版日期： |
适用范围
没有内容
前言
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目录
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引用标准
没有内容
所属分类： 电子元器件与信息技术 电子工业生产设备 其他生产设备